探針臺
Probe Stations
譜量光電 通用型3μm探針座整體采用航空鋁合金,表面噴砂氧化,具有很好的耐腐蝕能力。位移采用進口交叉滾珠導軌,超高穩定性。主要用途探針與待測器件(如芯片)接觸,傳輸測試信號并收集響應信號,以評估待測器件的性能和質量,為半導體芯片的電參數測試提供一個導通條件。根據客戶應用電極大小和測試精度不同,還有10μm、1μm、0.7μm、0.5μm等款式供客戶選擇;廣泛應用于半導體晶圓測試、芯片器件研發與制造、納米材料測試等,如有定制化標準(行程、精度、夾具等)可聯系客戶咨詢。
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探針位移行程
XYZ13mm+180°旋轉+60°精密定向傾斜調節 |
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探針座調節精度
3μm |
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電流測量范圍
100fA/10pA~10A |
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線纜規格
同軸線纜(BNC/鱷魚夾/香蕉插頭)三同軸線纜 |
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漏電精度
10pA/100fA |
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線纜長度
1.5m |


(Keithley26系列源表實測)

PLCTS 通用型3μm探針座采用鋁合金材質,表面噴砂氧化,具有良好的機械性能。位移采用進口交叉滾珠導軌,超高穩定性,適用于50-100μm電極使用。廣泛應用于晶圓芯片、半導體光電元件、納米材料等光電測試。