探針臺
Probe Stations
譜量光電 針對行業(yè)高精度應用場景需求,新推出電動款五相高精度探針座,低速無抖動,實現(xiàn)亞微米級定位,搭配我司多軸運動控制系統(tǒng)以及運動手輪組合,輕松實現(xiàn)單軸運動或多軸聯(lián)動,單個控制器最多可連接三個電動探針座,可實現(xiàn)九個維度的精確控制。
|
探針位移行程
XYZ三維分別15mm |
|
調節(jié)精度
~1μm |
|
手動升降調節(jié)
行程15mm,分辨率0.5μm |
|
最大速度
10mm/s |
|
漏電流精度
100fA/10pA |

PICTS 電動探針座可以獨立的操作某一個軸,也可以多個軸組合運動;每個軸的速度可以單獨控制;更是匹配多種自動控制,實現(xiàn)多軸聯(lián)動以及多軸插補運動,最多單個控制器可以連接三個探針座,實現(xiàn)9個自由度的組合電動位移。